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-- 웨이퍼 탐침 온도 시험 위한 다용도 및 지속가능한 솔루션
뮌헨, 2022년 4월 22일 /PRNewswire/ -- 반도체 제조용 열 관리 솔루션 시장의 선도기업인 ERS electronic[http://www.ers-gmbh.com/ ]이 유명한 AC3 서멀 척 시스템(Thermal chuck system)인 'Fusion'의 확장 모델을 출시한다. 이 시스템에는 설정 가능한 세 가지 현장 기본 모드(각 모드는 구체적인 시험 요건을 충족하도록 최적화)와 사용자가 핵심 매개변수를 정의할 수 있는 Fusion 모드를 갖춘 새로운 고성능 냉각 장치가 탑재됐다. AC3 Fusion 서멀 척 시스템은 이와 같은 모드를 바탕으로 에너지 효율적이고 유연한 3가지 온도 웨이퍼 시험을 지원하는 비타협적 솔루션이다.
The AC3 Fusion chiller series comes with a new white appearance
특허를 획득한 공기 관리 기술이 적용된 ERS의 AC3[https://www.ers-gmbh.com/thermal-chucks/our-products/ac3 ]는 2005년에 출시됐다. 이후 3차례에 걸친 공기 재활용(냉각 전, 냉각 중, 배기)으로 업계에서 가장 비용 효율적이고 자원 친화적인 서멀 척 시스템 중 하나라는 평가를 받고 있다.
AC3 Fusion은 온도 시험 중 비용과 에너지 소비량을 더욱 최소화하고자 ECO 모드를 제공한다. ECO 모드를 이용하면 주변 온도와 고온 시험 중에 에너지를 최대 65% 절감할 수 있다. 이 시스템을 구성하는 또 다른 요소는 AC3 Fusion 계산기 애플리케이션이다. 이를 통해 사용자는 다양한 시험 시나리오에서 각 모드의 에너지 소비량과 비용을 계산할 수 있다.
ERS electronic CTO Klemens Reitinger는 "AC3 Fusion을 개발하기 시작하면서, 자사는 시스템의 효율성은 더 높이면서 환경으로의 영향은 줄이는 것에 집중했다"라며, "이 솔루션을 통해 단일 시스템에서 이들 모드를 전부 제공함으로써, 웨이퍼 탐침 온도 시험을 한 차원 높은 곳으로 끌어올리고 있다"라고 말했다.
ERS electronic CEO Laurent Giai-Miniet는 "자사는 탄소 배출량이 더욱 낮은 경제를 장려하고 지원하는 기술을 개발해야 할 책임이 있다고 믿는다"라며, "이에 AC3 Fusion을 지구의 날에 발표하기로 했다"고 말했다. 이어 그는 "자사의 지속가능성 성과를 더욱 개선하고자 Leaders for Climate Action[https://lfca.earth/en_de/ ]이라는 조직과 손을 잡았다"면서 "Leaders for Climate Action은 자사가 배출량을 측정 및 감축하고, 궁극적으로 기후 중립성 목표를 달성하도록 지원한다"라고 설명했다.
AC3 Fusion은 6월부터 주문 가능하다.
ERA 소개:
ERS electronic GmbH는 50년 이상 반도체 산업을 위한 혁신적인 열 시험 솔루션을 생산했다. ERS는 분석, 매개변수 관련 및 제조 시험을 위해 온도 범위 -6~+550도에서 사용 가능한 빠르고 정확한 공기 냉각 기반 서멀 척 시스템을 출시함으로써 높이 평가 받고 있다.
